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Cvd/cvi进程减量响应模型

文档类型

条形图

发布日期

4-2002

抽象性

碳/碳复合由化学蒸发沉降/化学蒸发过程生成模型-碳复合生产过程将有助于降低生产成本可靠的流程模型必须包含气相动能细节,以便确定最优条件。详细气相运动学 表面运动学 孔闭模型 预测孔几何变化时间确定支配性气相动学,我们使用敏感度、速率和维分析法将大组响应减到最小集强健和相对快速技术可在各种条件下使用,包括复合孔内技术使用过程模型显示沉积剖分取决于所选动画模型使用比较现实反应模型,条件统一或内出可建议密度化

出版物标题

碳化

卷积

40码

问题

5

第一页

675

上页

683

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