纳米压痕/纳米划痕系统

功能

• 小体积材料在准静态和/或动态力作用下的力学性能定量表征。黏弹性模量、硬度、蠕变、应力松弛和断裂韧性等性能在纳米级和微观级测量。纳米划痕利用横向力来探测涂层和薄膜的附着力
• 应用:有机，无机，软或硬材料和涂层的表征，如薄和多层薄膜，光阻剂，油漆和涂料，制药，金属和金属氧化物，电子/太阳能/半导体，聚合物，玻璃，陶瓷，复合材料，生物材料
• 布鲁克纳米机械表征研讨会(2019年7月17日):纳米压痕和纳米odma [PDF]

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