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薄膜沉积系统

功能

  • 物理气相沉积薄膜(热的和溅射的):金属,合金,氧化物
  • 用石英晶体传感器精确控制薄膜厚度
  • 在高真空下进行,以保证薄膜的纯度
  • 应用:用于腐蚀研究的定义明确的平面金属薄膜,界面相互作用的研究,和保护性聚合物涂层,沉积在各种类型的基材上,包括聚合物
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