Nanoimprint光刻

功能

• 灵活和成本效益光刻
• 纳米图案的表面复制到10纳米表面功能化
• 热或UV NIL控制润湿
• 热压花
• 同时热和UV (STU®)压印工艺
• 采用专利Soft Press®技术
• 加热均匀，温度设定范围宽
• 压印聚合物用途广泛