薄膜沉积系统

能力性

• 稀薄薄膜物理蒸发沉降(热和喷射):金属、合金、氧化物
• 精密控制胶片厚度使用石英晶体传感器
• 高吸尘器实现薄膜纯度
• 应用:定义清晰的腐蚀研究平面金属薄膜研究,跨面交互作用研究,保护聚合涂层,各种子层沉降,包括聚合物

深挖多学