纳米画像线程

能力性

• 弹性成本高效平面
• 南板复制面向下至10纳米实现表面功能化
• 热或紫外线NIL带受控湿
• 热腾腾
• 同步热和紫外线进程
• 使用专利软新闻技术
• 统一加热和广度温度设置
• 使用广度印记聚合物